Elektronik- und Halbleitermodulprüfung E-LIT
E-LIT – Lock-In Thermografie für die Elektronik ist ein automatisiertes Prüfsystem innerhalb der zerstörungsfreien Prüfung. Es erlaubt eine berührungslose Fehlerinspektion an Halbleitermaterialien, elektronischen Bauteilen und elektronischen Schaltungen. Ungleichmäßige Temperaturverteilungen und lokale Energieverluste können mittels des speziellen Lock-In-Verfahrens und einer leistungsfähigen Thermografiekamera in kürzesten Prüfzeiten detektiert werden.
Die elektrischen Anregungseinheiten werden aus dem System parametriert und direkt synchron angesteuert. Sogar Fehler, die lediglich mK- oder μK-Abweichungen hervorrufen, können detektiert werden.
Kleinste Defekte, wie Punkt- und Linienkurzschlüsse, Oxidations-, Transistor- und Diodenfehler auf einer Leiterplattenoberfläche sowie in Schaltkreisen können exakt zweidimensional erkannt und dargestellt werden. Durch eine Veränderung der Lock-In-Frequenz lassen sich Fehler in Stacked-Die-Packages oder Multi-Chip-Modulen sogar räumlich zuordnen.
Die leistungsstarke Lock-in-Thermografie-Software verwendet Algorithmen und Routinen aus den neuesten wissenschaftlichen Veröffentlichungen.
E-LIT nutzt zur Auflösung kleinster geometrischer Strukturen Hochleistungs-Mikroskopobjektive und SIL-Linsen. Mittels hochauflösender Detektoren bis zu (1.920x1.536) IR-Pixel können große Messflächen charakterisiert werden.
𝗩𝗼𝗿𝘁𝗲𝗶𝗹𝗲 𝗱𝗲𝘀 𝗺𝗼𝗱𝘂𝗹𝗮𝗿𝗲𝗻 𝗣𝗿ü𝗳𝘀𝘁𝗮𝗻𝗱𝗲𝘀
Messung mit einem Messplatz: von der ganzen Platine bis ins kleinste Detail
Kundenspezifischer modularer Messplatz, z. B. mit X-Y Tisch und Z-Achse manuell oder motorisch einstellbar, zur Positionierung und individuellen Einstellung der Arbeitsabstände, abhängig von der Messobjektgröße des Prüflings
Flexibilität durch variable Komponenten, z. B. verschiedene Optiken, Aufnahmeeinrichtungen für den Prüfling oder Kontaktierungsmöglichkeiten
Echtzeit Lock-In-Messung mit höchster Empfindlichkeit
Vollständige und präzise mikroskopische Analyse
Geometrische Auflösung bis zu 1,3 μm mit Mikroskopobjektiven
Thermische Auflösung im Mikrokelvinbereich
High-Voltage Prüfplatz mit zwangsläufigem Berührungsschutz und Betriebszustandsmeldeleuchte
Einbindung von High-voltage Source-Meter-Unit bis 3kV
Intigrierter IV-curve tracer für i-v characterization
Mehrschichten-Analyse
Automatische Abrasterung größerer Proben über Präzisionsmechanik
https://www.infratec.de/thermografie/zfp/e-lit/